固有誤差主要來源于測量儀器自身的缺陷，如儀器的結構、原理、使用、安裝、測量方法及其測量標準傳遞等造成的誤差。固有誤差的大小直接反映了該測量儀器的準確度。一般固有誤差都是對示值誤差而言，因此固有誤差是測量儀器劃分準確度的重要依據。測量儀器的最大允許誤差就是測量儀器在參考條件下，反映測量儀器自身存在的所允許的固有誤差極限值。

　　固有誤差是相對于附加誤差而言的。附加誤差就是測量儀器在非標準條件下所增加的誤差。額定操作條件、極限條件等都屬于非標準條件。非標準(即參考)條件下工作的測量儀器的誤差，必然會比參考條件下的固有誤差要大一些，這個增加的部分就是附加誤差。它主要是由于影響量超出參考條件規定的范圍，對測量儀器帶來影響的所增加的誤差，即屬于外界因素所造成的誤差。因此測量儀器使用時與檢定、校準時因環境條件不同而引起的誤差，就是附加誤差；測量儀器在靜態條件下檢定、校準，而在實際動態條件下使用，則也會帶來附加誤差。